MIKROELEKTRONIKA I

Minijaturizacija i stepeni integracije. Planarni procesi u mikroelektronici (difuzija, jonska implantacija, epitaksija, oksidacija, metalizacija, litografija, nagrizanje). Monolitne bipolarne silicijumske komponente (npn i pnp tranzistori, diode, Šotki-diode, otpornici, kondenzatori, kompatibilni unipolarni tranzistori u bipolarnim kolima, poboljšani bipolarni tranzistor). Monolitne unipolarne silicijumske komponente (n-MOSFET, CMOSFET, poboljšani MOSFET, LDDMOSFET, VMOS, DMOS, VDMOS, SOSMOS, SOIMOS, prošireni CMOSFET). BiMOS i BiCMOS silicijumske naprave. Sinteza integrisanih kola (opšta pravila topološkog projektovanja). Funkcionalna mikroelektronika.

Download